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腾搏tengbo168手机版
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产品介绍

PF-300T、PF-200T
12英寸 , 8英寸PECVD设备

产品介绍

PF-300T为拓荆承担国家“十一五”重大专项,自主设计研发的腾搏tengbo168手机版。其工艺广泛用于多技术节点及更先进制程逻辑芯片以及存储器芯片制程。可实现所有相关介质薄膜的沉积。同时已延伸至先进膜技术,产品涵盖了高刻蚀选择比的ACHM硬掩膜、低介电常数的绝缘薄膜及NDC刻蚀阻挡层、超低介电常数的ULK薄膜,可满足客户多种技术节点要求。


 
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